
特征
作为santec的HSL系列的畅销产品HSL-2100是由多边形扫描仪构成。该光源的特征是高重复性和线性,不需要K-触发器就可获取数据,因此可以简单构成整个系统。进而实现了作为SS-OCT系统的高可靠性和低成本,广泛用于工业领域的在线检查。
主要性能
- 中心波长:1310nm
- 最大输出功率:>20mW
- 扫描速度:20kHz
- 扫描范围:≥170nm
- 相干长度:≥6mm
主要应用
- 高精度在线检查
- 硅片厚度、形状测量
- 高分辨率成像
- 低成本SS-OCT
作为santec的HSL系列的畅销产品HSL-2100是由多边形扫描仪构成。该光源的特征是高重复性和线性,不需要K-触发器就可获取数据,因此可以简单构成整个系统。进而实现了作为SS-OCT系统的高可靠性和低成本,广泛用于工业领域的在线检查。